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製品とソリューション
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石英の融点：用途、選択基準、実践上の指針続きを読む
1,200 °C の管状炉のサイジングを行うプロセス エンジニアは、通常、発注書を出す前に 2 つの質問をします。それは、石英の融点は何度か、もう 1 つは加熱された管が実際に何をするかということです。最初の答えは短いです。結晶質石英は、どの結晶形態とどの測定ルートが引用されているかに応じて、1670 °C から 1713 °C の間のどこかで溶けます。 2 番目の答えは、炉を 3 年...
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溶融シリカの熱伝導率: 値、温度傾向、および購入時の注意点続きを読む
かつて炉建設業者は、120 mm の透明な石英管の熱伝導率を尋ねたところ、ある日の午後に 3 つの異なる答えが得られました: 1.3、1.38、および 2.6 W/(m・K)。 3人とも正直でした。 1 つ目は室温のカタログ ラインから、2 つ目は 25℃ で測定されたハンドブックの値から、3 つ目は赤外線が熱伝達に静かに加わった 900 °C での社内テストから得られました。 ...
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溶融シリカの融点: 産業および研究室の購入者向けの温度制限続きを読む
溶融シリカの融点: 購入前に使用する数値 1,200 °C のチューブと 1,650 °C のウィンドウを比較する炉エンジニアは、温度マップほど単一の融解数値を必要としません。溶融シリカの融点は一般に 1,713 °C 付近と言われていますが、この数値は実際の仕様の開始時点ではなく、プロセスの終了時点に設定されています。 有用な答えは次のとおりです。軟化点、歪点...
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溶融シリカ密度の説明: 2.2 g/cm3 とそれが石英ガラスが重要な理由続きを読む
プロセス エンジニアが拡散炉用の石英管を指定するとき、または研究室の管理者が溶融シリカ キュベットを注文するとき、会話は多くの場合、純度と透過率から始まります。しかし、耐熱衝撃性、重量計算、さらには高温バッチの成功さえも静かに支配する数値が 1 つあります。それは、溶融シリカ密度です。許容値は 2.2 g/cm3 ですが、この 1 つの数値には実際的な許容誤差があり、ロッド、チューブ、...
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溶融石英の熱伝導率: 実際の値、傾向、および調達ガイド続きを読む
溶融石英の熱伝導率は 20℃ で 1.4 W/m・K です。この 1 つの数字は、驚くべき量のエンジニアリングの背後にあります。つまり、炉管壁の厚さはどれくらい必要か、ビューポートが熱平衡に達するまでの速さ、900 °C の赤外線ヒーターが背後の端子ブロックを溶かさない理由、そしてウェーハ ボートの熱負荷が実際に搭載するウェーハにどのくらい到達するかを決定します。 これは、...
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溶融石英密度 2.2 g/cm3: 特性とバイヤー向け購入ガイド続きを読む
新しいウェーハプロセス用の炉ラインを準備するエンジニアは、通常、利用可能な純度グレードと石英製品の重さという 2 つの質問から始まります。 2 番目の質問が正式な仕様としてデータシートに現れることはほとんどありませんが、すべての取り扱い治具、ホイスト制限、加熱スケジュール、および熱質量の計算はこれに依存します。答えは溶融石英の密度に帰着します。この値は一般に 2.2 g/cm3 と表記...
